氧化锆陶瓷抛光机主要用途：
该机主要适用用各种大尺寸硅片及晶体材料的抛光。更多关于平面研磨机 平面抛光机 研磨抛光机 蓝宝石衬底抛光机
氧化锆陶瓷抛光机工作原理：
本系列硅片抛光机由四个吸附盘吸附硅片与抛光盘做逆时针旋转来达到抛光的目的。
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氧化锆陶瓷抛光机设备规格：
| 型号 | YM-18A | YM-24A | YM-36A | YM-48A |
| 抛光盘规格 | φ460*φ140 | φ610*φ200 | φ910*φ300 | φ1220*φ400 |
| 抛光尺寸 | φ150mm | φ200mm | φ300mm | φ450mm |
| 抛光后平面度 | ±0.5u以内 | ±0.7u以内 | ±1u以内 | ±1u以内 |
| 工件平行度（25mm） | ±1u以内 | ±1.5u以内 | ±2u以内 | ±2u以内 |
| 工件粗糙度 | 0.4nm以内 | 0.4nm以内 | 0.4nm以内 | 0.4nm以内 |
| 抛光盘电机功率 | 2.2kw 3相380V | 3.7kw 3相380V | 7.7kw 3相380V | 11kw 3相380V |
| 抛光盘转速 | 0~120rpm | 0~100rpm | 0~80rpm | 0~60rpm |
| 外形尺寸 | 700*1100*1100mm | 950*1200*2200mm | 1200*1400*2300mm | 1500*1700*2400mm |
| 重量 | 960kg | 1800kg | 2600kg | 4500kg |
